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发布时间:2016年07月15日
溅射薄膜压力敏感元件 分类:产品展示

详细介绍
  压力敏感元件采用溅射工艺,在压力介质直接作用的17-4PH不锈钢膜片上,以分子键合的方式制作出“微米”级的电阻膜。再经过微电子工艺制作出需要的惠斯登电桥,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和活动件,无需密封腔和充油腔,因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点。
  
  特点
  
  *长期稳定                            *信号线性化
  
  *具有温度内补偿                      *小型化(芯片直径7mm)
  
  *具有压力和温度一体化双输出
  
  薄膜压力敏感元件焊接型:通过焊接(激光,电子束,微束等离子,微束亚弧焊)方式实现压力敏感元件与引压接头的连接。
  
  结构图:
  
  焊接型(W)
  
  内孔尺寸:5~20bar  4.5mm              35~2200bar   3.5mm
  
  (可选择带引线和不带引线两种,带引线型使用温度为120℃)
  
  敏感元件:
  
  引线示意图:
  
  惠斯登电桥示意图:
  
  引线方式:1、3为供电激励源(1:地,3:电源+)
  
  2、4为信号输出端
  
 。1、5之间为测温电阻,作为内补偿电阻)
  
  焊点材料:锡/铅?芍苯佑美犹福ńㄒ槭褂酶呶潞肝
  
  镍。使用超声压焊
  
  技术参数:
  
  压力量程(bar):5, 7, 10, 16, 20, 35, 70, 100, 160, 250, 400, 700,1000, 1600, 1800, 2200
  
  允许过负载(% FS):200%(破坏压力:10倍满量程压力)
  
  热零点漂移(%FS℃):小于0.005
  
  热灵敏度漂移(%FS℃):小于0.005
  
  长期稳定性 (%FS/年):小于±0.1
  
  工作温度范围(℃):-70℃~200℃(特殊要求从-100℃~300℃)
  
  桥臂电阻(KΩ):3.2±0.2
  
  绝缘电阻(MΩ):大于500
  
  频率响应:大于10KHZ
  

  灵敏度(mV/V)及非线性:

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